T/CI 334-2024-半导体设备隔振系统设计及技术要求-国家数字标准馆

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半导体设备隔振系统设计及技术要求

发布日期： 2024-04-18

实施日期： 2024-04-18

主要技术内容:本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L56电子元器件与信息技术 - 微电路 - 半导体集成电路

ICS分类： 39.020精密机械、珠宝 - 精密机械

关联关系

研制信息

归口单位：中国国际科技促进会

起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司

起草人：陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀

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