T/CASME 1846-2024-半导体设备零配件清洗技术规范-国家数字标准馆

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半导体设备零配件清洗技术规范

发布日期： 2024-12-25

实施日期： 2024-12-31

                范围:本文件适用于没有经过喷漆或电镀的半导体设备零配件的清洗;
主要技术内容:本文件规定了半导体设备零配件清洗的一般要求、表面处理、化学清洗、外观面检验、标识、包装和贮存

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L电子元器件与信息技术

ICS分类： 31.080.01半导体分立器件 - 半导体器分立件综合

关联关系

研制信息

归口单位：中国中小商业企业协会

起草单位：苏州飞思达精密机械有限公司、苏州艾布纳精密机械有限公司、苏州大魏模具科技有限公司

起草人：张忠华、郝振兴、魏宏准

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