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Optics and photonics. Interferometric measurement of optical elements and optical systems-Measurement and evaluation techniques 光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量
发布日期： 2019-07-25
本文件给出了干涉测量对象的基本解释，描述了 干涉仪的硬件方面和评估方法，并给出测试建议 报告和校准证书。交叉引用:ISO 10110-5:1996ISO 10110-5:2015ISO/TR 14999-1:2005ISO 14999-4:2015ISO/IEC 17025ISO 10110-14购买本文件时提供的所有当前修订版均包含在购买本文件中。
This document gives fundamental explanations to interferometric measurement objects, describes hardware aspects of interferometers and evaluation methods, and gives recommendations for test reports and calibration certificates.Cross References:ISO 10110-5:1996ISO 10110-5:2015ISO/TR 14999-1:2005ISO 14999-4:2015ISO/IEC 17025ISO 10110-14All current amendments available at time of purchase are included with the purchase of this document.
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