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KS I ISO 14644-14-2018(2023)
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클린룸 및 제어된 환경 — 제14부: 공기 부유 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가
洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气中颗粒浓度对设备适用性的评估
该标准规定了如何从KS I ISO 14644-1规定的空气悬浮颗粒物清洁度的角度,评估设备(机械类、测量设备、工程设备、组件和工具)在洁净室和受控环境中使用的适用性。
이 표준은 KS I ISO 14644-1에 규정된 공기 부유 입자 청정도 측면에서, 클린룸 및 제어된 환경에서 사용하기 위한 장비(기계류, 측정 장비, 공정 장비, 구성 부품 및 공구)의 적합성을 평가하는 방법을 규정한다.
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