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现行 GB/T 38616-2020
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纳米定位与扫描平台术语 Terminology for nano positioning and scaning stage
发布日期: 2020-04-28
实施日期: 2020-11-01
废止日期: 2020-11-01
本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。 本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义
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