BS ISO 13084:2018-表面化学分析二次离子质谱法飞行时间二次离子质谱仪质量刻度的校准-国家数字标准馆

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Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer 表面化学分析二次离子质谱法飞行时间二次离子质谱仪质量刻度的校准

发布日期： 2018-11-16

BS ISO 13084:2018规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间二次离子质谱仪（SIMS）质量校准精度的方法。它仅适用于飞行时间仪表，但不限于任何特定的仪表设计。为使用本程序可以优化的一些仪器参数以及适用于校准质量刻度以获得最佳质量精度的通用峰类型提供了指南。交叉引用:ISO 18115-1ISO 23830购买本文件时可获得的所有现行修订均包含在购买本文件中。

BS ISO 13084:2018 specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.Cross References:ISO 18115-1ISO 23830All current amendments available at time of purchase are included with the purchase of this document.

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发布单位或类别：英国-英国标准学会

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