T/DLSHXH 007-2022-电子特气三氟碘甲烷-国家数字标准馆

现行 T/DLSHXH 007-2022

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

电子特气三氟碘甲烷

发布日期： 2022-09-30

实施日期： 2022-10-20

主要技术内容:本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料，经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：大连市石油和化工行业协会

起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会

起草人：施旖旎、赵银凤、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛

相似标准/计划/法规

GB/T 40418-2021

电子特气氟甲烷
Electronic specialty gas—Fluoromethane

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

专题数据库

标准管理系统

大数据分析系统

标准智能研制系统