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마이크로빔 분석 — 주사전자현미경 — 영상 배율 교정 지침 微束分析扫描电子显微镜图像放大率校准指南
发布日期: 2023-11-20
该标准规定了如何使用适当的标准物质校准扫描电子显微镜(SEM)的影像倍率。该方法仅限于用校准标准物质所能提供的大小范围测量的倍率。该标准不适用于专用的用于测量临界尺寸的SEM。
이 표준은 적절한 표준물질을 사용하여 주사전자현미경(SEM)의 영상 배율을 교정하는 방법에 대하여 명시한다. 이 방법은 교정용 표준물질이 제공할 수 있는 크기 범위로 측정하는 배율에 국한한다. 이 표준은 전용 임계치수 측정용 SEM에 적용하지 않는다.
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