T/ZGM 005-2024-半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求-国家数字标准馆

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半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求

发布日期： 2024-05-24

实施日期： 2024-05-31

范围:本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂;
主要技术内容:本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： J77机械 - 通用机械与设备 - 分离机械

ICS分类： 07.060数学、自然科学 - 地质学、气象学、水文学

关联关系

研制信息

归口单位：中国膜工业协会

起草单位：江苏苏青水处理工程集团有限公司、宁波争光树脂有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、南京大学、鹤壁市海格化工科技有限公司、蚌埠市天星树脂有限责任公司、中国船舶集团有限公司第七一九研究所、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司

起草人：钱平、胡锦强、张力、双陈冬、张烨鹏、杨奇、王钊、张优慰、殷梓卿

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