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现行 JY/T 0583-2020
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聚焦离子束系统分析方法通则 General analytical rules for the focused ion beam system
发布日期: 2020-09-29
实施日期: 2020-12-01
本标准规定了聚焦离子束系统的分析方法原理、分析环境要求、仪器、分析样品分析步骤、结果报告和安全注意事项。 本标准适用于各类型聚焦离子束系统
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