GB/T 15909-2017-电子工业用气体硅烷-国家数字标准馆

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电子工业用气体硅烷 Gas for electronic industry—Silane

发布日期： 2017-05-31

实施日期： 2017-12-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司

起草人：余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕

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가스 용기 — 마이크로 전자산업용 가스 용기 밸브 연결부 — 제1부: 가스 충전구 연결부
气瓶微电子工业用气瓶阀门连接第1部分:出口连接

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气瓶——微电子工业用气瓶阀门连接第1部分:出口连接

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气瓶 - 用于微电子工业的气瓶阀连接 - 第2部分:阀与气缸连接的规格和型式试验

KS B ISO 10692-2(2024 Confirm)

가스 용기 — 마이크로 전자산업용 가스 용기 밸브 연결부 — 제2부: 용기 연결부의 밸브에 대한 시방 및 형식 시험
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