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SJ 21262-2018
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MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布日期：
2018-01-18
实施日期：
2018-05-01
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求
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