ISO 16700:2016-微束分析 - 扫描电子显微镜 - 校准图像放大率的指南-国家数字标准馆

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Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification 微束分析 - 扫描电子显微镜 - 校准图像放大率的指南

发布日期： 2016-07-18

ISO 16700:2016规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）产生的图像放大率的方法。该方法仅限于由校准标准物质中结构的可用尺寸范围确定的放大率。它不适用于专用临界尺寸测量SEM。

ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

分类信息

发布单位或类别：国际组织-国际标准化组织

ICS分类： 37.020成像技术 - 光学设备

关联关系

研制信息

归口单位： ISO/TC 202/SC 4

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