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HVAC Systems for Semiconductor Clean rooms---Part 1: System Components 半导体洁净室暖通空调系统第1部分:系统部件
检查10级洁净室设计中涉及的主要能源使用部件。包括通过正确选择HVAC组件降低运营成本的建议。关键词:洁净室,供暖,选择,通风,空调,设计,节能。引文:研讨会,ASHRAE交易,第96卷,pt。1990年3月2日,圣路易斯
Examines the major energy-using components involved in a class 10 clean room design. Includes suggestions for lower operating costs with proper selection of HVAC components.KEYWORDS: Clean rooms, heating, selecting, ventilation, air conditioning, designing, energy conservation.
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