JB/T 13359-2018-硅谐振式压力传感器-国家数字标准馆

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硅谐振式压力传感器 Silicon resonant pressure sensor

发布日期： 2018-04-30

实施日期： 2018-12-01

本标准规定了硅谐振式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于硅谐振式压力传感器(以下简称传感器)

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-机械

CCS分类： N11仪器、仪表 - 工业自动化仪表与控制装置 - 温度与压力仪表

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会

起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国科学院电子学研究所、中国航天科技集团公司第704研究所、中国计量学院

起草人：李颖、刘剑、张治国、林洪、刘波、张娜、崔可夫、石天立、付文婷、张辉、徐秋玲、殷波、于振毅、崔大付、王建、韩建强

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