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가스분석 - 동적 부피 측정법을 이용한 교정용 혼합가스의 제조 - 제2부 : 용량형 펌프 气体分析用动态容量法制备标定混合气体第2部分:容量泵
发布日期: 2015-12-31
该标准由一系列国际标准组成,涉及用于制造校准混合气体的各种动态方法。该标准说明了使用柱塞泵的方法和制造系统。混合物组成及相关不确定度来源于测量维度对柱塞泵的校正。使用该方法制备的校正用混合气由两个以上的成分组成,使用气体混合泵从纯气体或其他混合气体中制备。这些气体混合泵包括至少两个柱塞泵,它们以规定的行程比例驱动,并提供适当的配套装置,用于供气和混合物均质化。该标准只适用于包括腐蚀性气体在内的混合气体或完全气化的成分,除非各成分之间没有反应或与混合泵的湿表面发生反应。还包括将混合气用作母气(parentgas)的情况。如果将复合成分的混合气及多级稀释工艺考虑为制造2-成分混合物的特别事例,则包括在该标准中。该标准说明了用体积百分比表示的组成校正用混合气体的方法。为了用物质质量分数表达气体组成,所需的式样及相关不确定度评估由附属署A提供。在该方法中,如果采取充分的质量保证及管理措施,校正用混合气体可以制造成体积分数0.5%的相对扩展不确定度(包括因子k(2))。在指定条件下,由附属到B到附属到D提供可能出现小不确定度的数值示例。使用该方法,可以以单独的增量单位获得1:1000的稀释比。多级稀释或混合气体用作进气时,其份额更低(1×可获得10至8)。 根据使用的设备,可以实现5L/h~500L/h的最终混合流量。
이 표준은 교정용 혼합 가스의 제조를 위해 사용되는 다양한 동적 방법과 관련하여 일련의 국제 표준으로 구성된다. 이 표준에서는 피스톤 펌프를 사용하는 방법과 제조 시스템에 대해 설명한다. 혼합물 조성 및 관련 불확도는 차원 측정에 의한 피스톤 펌프의 교정에 기인한다.이 방법을 사용하여 제조된 교정용 혼합 가스는 두 개 이상의 성분으로 구성되며 가스 혼합 펌프를사용하여 순수 가스 또는 기타 혼합 가스로부터 제조된다. 이러한 가스 혼합 펌프는 규정된 행정 비율로 구동되고 가스 공급 및 혼합물 균질화를 위한 적절한 부대장치가 제공되는 최소 두 개의 피스톤 펌프를 포함한다.이 표준은 각 성분이 서로 간에 반응하지 않거나 혼합 펌프의 젖은 표면과 반응하지 않는 한, 부식성 가스를 포함하는 혼합 가스 또는 완전히 기화된 성분에만 적용된다. 혼합 가스를 모 가스(parentgas)로 사용하는 경우도 포함한다. 복합 성분의 혼합 가스 및 다단계 희석 공정은 2-성분 혼합물 제조를 위한 특별 사례로 고려되는 경우 이 표준에 포함한다.이 표준은 부피 분율로 표시되는 조성의 교정용 혼합 가스의 방법에 대해 설명한다. 가스 조성을 물질량 분율로 표현하기 위해 필요한 식 및 관련 불확도 평가는 부속서 A에서 제공한다.이 방법에서 충분한 품질 보증 및 관리 조치를 취할 경우, 교정용 혼합 가스는 부피 분율 0.5 %의 상대 확장 불확도(포함인자 k=2)로 제조할 수 있다. 지정된 조건 하에서 작은 불확도가 발생될 수있는 수치적 예를 부속서 B∼부속서 D에서 제공한다.이 방법을 사용하면 별도의 증분 단위로 1:10 000의 희석 비율이 얻어질 수 있다. 다단계 희석 또는혼합가스를 유입가스로 사용하면 더 낮은 분율(1×10-8까지 가능)을 얻을 수 있다. 사용하는 장비에따라 5 L/h∼500 L/h의 최종 혼합 유량을 구현할 수 있다.
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