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现行 T/FSI 003-2016
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气相二氧化硅生产用四氯化硅
发布日期: 2017-04-10
实施日期: 2017-06-01
范围:气相二氧化硅生产用四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于多晶硅副产四氯化硅、三氯氢硅副产四氯化硅以及其它方法制得的四氯化硅,该四氯化硅满足气相二氧化硅生产原料的质量要求; 主要技术内容:范围、规范性引用、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、安全
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