20240137-T-469-蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法-国家数字标准馆

正在起草 20240137-T-469

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate

下达日期： 2024-03-25

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准计划

ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

相似标准/计划/法规

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。