现行

GB/T 42896-2023

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

2023-08-06

现行

GB/T 44531-2024

微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology

2024-09-29

现行

GB/T 42895-2023

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS

2023-08-06

现行

GB/T 42897-2023

微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

2023-08-06

现行

GB/T 38341-2019

微机电系统(MEMS)技术　MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

2019-12-31

现行

GB/T 44514-2024

微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials

2024-09-29

现行

GB/T 44842-2024

微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems （MEMS） technology—Bend testing methods of thin film materials

2024-10-26

现行

GB/T 42158-2023

微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

2023-03-17

现行

BS EN 62047-7-2011

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices-MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection
半导体器件 微机电设备

2011-08-31

现行

GB/T 34898-2017

微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

2017-11-01

现行

GB/T 38447-2020

微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

2020-03-06

现行

IEC 62047-7-2011

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection
半导体器件 - 微机电器件第7部分:用于无线电频率控制和选择的存储器滤波器和双工器

2011-06-16

现行

KS C IEC 62047-7(2020 Confirm)

반도체소자 ― 초소형 전기기계소자 ― 제7부: RF 조절 및 선택용 MEMS 체적 탄성파 필터와 듀플렉서
半导体器件微机电器件第7部分:射频控制和选择用MEMS BAW滤波器和双工器

2015-12-30

现行

GB/T 42709.7-2023

半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection

2023-05-23

现行

GB/T 34900-2017

微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for residual strain measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

2017-11-01

现行

GB/T 34893-2017

微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

2017-11-01

现行

GB/T 34894-2017

微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

2017-11-01

现行

DIN EN 62047-7

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection (IEC 62047-7:2011); German version EN 62047-7:2011
半导体器件.微机电器件.第7部分:射频控制和选择用MEMS BAW滤波器和双工器（IEC 62047-7-2011）；德文版EN 62047-7:2011

2012-02-01