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Draft Document - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film (IEC 47F/241/CD:2016) 文件草稿-半导体器件-微机电器件-第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法(IEC 47F/241/CD:2016)
发布日期: 2016-08-01
分类信息
发布单位或类别: 德国-德国标准化学会
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