T/ZGM 003-2022-质量分级及“领跑者”评价要求半导体行业终端过滤用膜元件-国家数字标准馆

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质量分级及“领跑者”评价要求半导体行业终端过滤用膜元件

发布日期： 2022-09-07

实施日期： 2022-09-13

主要技术内容:适用于半导体清洗、涂胶显影和刻蚀工序。要求微孔滤膜的厚度，通量，泡点，金属溶出和NVR溶出符合工艺要求

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： J77机械 - 通用机械与设备 - 分离机械

关联关系

研制信息

归口单位：中国膜工业协会

起草单位：杭州科百特过滤器材有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、奥赛科膜科技（天津）有限公司、中国标准化研究院

起草人：贾建东、殷梓卿、黄人瑶、沈亦天、彭美华、孟慧琳、管金鑫、白岩

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