掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
发布日期：
2017-02-28
实施日期：
2017-05-28
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准
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