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现行 T/ZGM 012-2023
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半导体行业超纯水制备用卷式反渗透膜元件产品认证技术要求
发布日期: 2023-10-11
实施日期: 2023-10-18
主要技术内容:本标准规定了卷式反渗透膜元件适用范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求和测试方法等
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