T/ZOIA 30001-2022-MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法-国家数字标准馆

现行 T/ZOIA 30001-2022

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法

发布日期： 2022-12-29

实施日期： 2022-12-29

主要技术内容:本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L电子元器件与信息技术

ICS分类： 31.260电子学 - 光电子学、激光设备

关联关系

研制信息

归口单位：中关村光电产业协会

起草单位：中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会

起草人：陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯

相似标准/计划/法规