GB/T 35306-2017-硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法-国家数字标准馆

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硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法 Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

发布日期： 2017-12-29

实施日期： 2018-07-01

废止日期： 2024-03-04

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、陕西天宏硅材料有限责任公司

起草人：张云晖、韩小月、毛智慧、赵建为、刘晓霞、王桃霞、田洪先、刘明军、银波、刘国霞、蔡延国、秦榕、童孟、钱津旺、杨红燕

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