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晶圆甩干机
发布日期：
2024-09-20
实施日期：
2024-10-05
主要技术内容:本文件规定了晶圆甩干机的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于晶圆甩干机的生产和检验
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