Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150. Требования к качеству аттестованной продукции
具有电源БП-150的主体冷却二极管型溅射离子泵НМДО-01-1(НОРД-100) 认证产品的质量要求
Настоящий стандарт распространяется на магниторазрядные диодные охлаждаемые насосы типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150, предназначенные для безмасляной откачки в постах электровакуумных приборов, в печах вакуумного отжига и в ускорителях частиц