T/QGCML 1126-2023-连续双样品室等离子体清洗装置-国家数字标准馆

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连续双样品室等离子体清洗装置

发布日期： 2023-08-03

实施日期： 2023-08-18

主要技术内容:本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 21.020机械系统和通用件 - 机器、装置、设备的特性和设计

关联关系

研制信息

归口单位：全国城市工业品贸易中心联合会

起草单位：武汉普迪真空科技有限公司、武汉普昊科技有限公司、湖北智瑞科技有限公司

起草人：马艳、周焱文、杨林生、何光、聂天伟、周乐、马淑锋、马强威、张澳、周繁荣

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