Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032