Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统 原子力扫描探针显微镜 验证方法
实施日期:
2008-02-01
本标准适用于用于在10〜艺术的范围内的线性尺寸的测量扫描探针原子力显微镜测量。零下9到10中的艺术。 -6米,并且根据GOST P 8628 8629 P和GOST的他们的原发性和复发性验证用解除作用的方法。校准间隔显微镜 - 一年
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал микроскопа - один год