该标准定义了扫描电子显微镜(SEM)分析中使用的术语。该标准包括按系统顺序按等级分类的一般和特定概念,如果适用,还使用KS D ISO 23833中定义的术语。该标准可适用于与SEM分析相关的所有标准。此外,该标准的某些内容还可应用于与该领域相关的文档,以定义相关领域(如EPMA、AEM、EDS)的术语。
이 표준은 주사전자현미경(SEM) 분석에서 사용하는 용어를 정의한다. 이 표준은 체계적인 순서로 등급에 따라 분류한 일반과 특정 개념을 포함하며 해당하는 경우에 KS D ISO23833에 정의된 용어도 사용한다. 이 표준은 SEM 분석과 관련된 모든 표준에 적용할 수 있다. 또한 이 표준의 일부 내용은 관련 분야(예: EPMA, AEM, EDS)의 용어 정의를 위해 해당 분야와 관련된 문서에 적용할 수 있다.