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现行 T/JSSES 16-2021
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集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法
发布日期: 2021-05-28
实施日期: 2021-06-28
主要技术内容:项        目                              指        标硫酸(H2SO4)质量分数/% ≥50过氧化氢质量分数/%          ≤0.1灰分质量分数/%                ≤0.05铜(Cu)质量指标/%       ≤0.0005铁(Fe)质量分数/%       ≤0.01砷(As)质量分数/%       ≤0.0005铅(Pb)质量分数/%        ≤0.01汞(Hg)质量分数/%      ≤0.005镉(Cd)质量分数/%      ≤0.0005铬(Cr)质量分数/%      ≤0.0025镍(Ni)质量分数/%      ≤0.0025总有机碳(TOC)/(mg/L)      ≤500透明度/mm                      ≥30
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