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现行 T/CEMIA 036-2023
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半导体显示用高碱浓度负胶显影液
发布日期: 2023-11-06
实施日期: 2023-11-30
范围:本文件适用于由氢氧化钾、表面活性剂和水组成,其中氢氧化钾的质量百分比大于8%的半导体显示用高碱浓度负胶显影液。此半导体显示用高碱浓度负胶显影液主要用于半导体制程中负性光刻胶的显影,及薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)或有机发光二极管显示器(OLED)彩膜工艺光刻胶的显影; 主要技术内容:本文件规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的缩略语、技术要求、检验方法、检验规则、标志及包装、运输、贮存和安全事项
分类信息
发布单位或类别: 中国-团体标准
CCS分类: L电子元器件与信息技术
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