Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света
粒度分布的测定 单粒子光相互作用方法 第4部分 清洁空间的光散射空气粒子计数器
Настоящий стандарт устанавливает требования к калибровке и проверке работоспособности счетчиков частиц в воздухе, работающих по принципу рассеяния света, которые используют для счетной концентрации взвешенных в воздухе частиц в зависимости от их размеров. Метод основан на рассеянии света отдельной частицей. Типовой диапазон значений частиц для оценки по данному методу находится в пределах от 0,1 до 10 мкм.
Счетчики, на которые распространяется настоящий стандарт, используют для классификации чистоты воздуха в чистых помещениях по ИСО 14644-1, а также для оценки числа частиц и их распределения по размерам в других областях.
Настоящий стандарт устанавливает требования к:
- калибровке по размерам частиц;
- проверке установки размеров;
- эффективности счета;
- разрешающей способности по размерам;
- определению ложного счета;
- максимально допустимой концентрации частиц;
- скорости отбора проб;
- времени отбора проб;
- объему пробы;
- периодичности калибровки;
- протоколу калибровки