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现行 SJ/T 10479-2016
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自动砂轮划片机 Automatic wheel scribing machine
发布日期: 2016-01-15
实施日期: 2016-06-01
本标准规定了自动砂轮划片机(划片过程自动化,以下简称“划片机”)的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。 本标准适用于切割分离硅片的划片机,产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、铌酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料
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