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초순수 중의 미립자 측정방법
测试方法微粒浓度作者:高纯水
该标准规定了超纯水中微粒的测定方法。备注该方法也适用于超纯水以外的水中微粒的测定方法。
이 표준은 초순수 중의 미립자 측정방법에 대하여 규정한다. 비고 이 방법은 초순수 이외의 물에 함유된 미립자의 측정방법에 대해서도 적용할 수 있다.
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