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现行 YS/T 1024-2015
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溅射用钽靶材 Tantalum sputtering targets
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容
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