这个标准规定在硅和锗的电子或空穴型导电性的在1×10的技术中的电阻率的值的范围的平坦表面的单晶锭四探针法电阻率测量。减去1×10 4到艺术。 4Om.sm

Настоящий стандарт устанавливает четырехзондовый метод измерения удельного электрического сопротивления на плоской поверхности слитков монокристаллических кремния и германия электронного или дырочного типа электропроводности в диапазоне значений удельного электрического сопротивления от 1х10 в ст. минус 4 до 1х10 в ст. 4 Ом.см