JJF 1351-2012-扫描探针显微镜校准规范-国家数字标准馆

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扫描探针显微镜校准规范 Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes

发布日期： 2012-06-18

实施日期： 2012-09-18

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围

分类信息

发布单位或类别：中国-国家计量技术规范

关联关系

研制信息

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院

起草人：朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁

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