YS/T 1059-2015-硅外延用三氯氢硅中总碳的测定　气相色谱法-国家数字标准馆

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硅外延用三氯氢硅中总碳的测定　气相色谱法 Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

发布日期： 2015-04-30

实施日期： 2015-10-01

                本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-有色金属

CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司

起草人：刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅

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