GB/T 31058-2014-电子工业用气体　四氟化硅-国家数字标准馆

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电子工业用气体　四氟化硅 Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride

发布日期： 2014-12-22

实施日期： 2015-07-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司

起草人：邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云

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