GB/T 43725-2024-直写成像式曝光设备-国家数字标准馆

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直写成像式曝光设备 Direct writing imaging exposure equipment

发布日期： 2024-03-15

实施日期： 2024-10-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备

ICS分类： 31.260电子学 - 光电子学、激光设备

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：合肥芯碁微电子装备股份有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司、安徽省工业和信息化研究院、深南电路股份有限公司、四创电子股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥矽迈微电子科技有限公司、深圳市克洛诺斯科技有限公司、深圳拜波赫技术有限公司

起草人：何少锋、陈新、邱醒亚、乔书晓、沈桂珍、朱颖、陈黎阳、方林、曲鲁杰、许静平、陈东、崔良端、陆培良、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、李香滨、严孝年、鲁男、李娜、李照辉、吴新民

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