T/CIET 604-2024-电子特气提纯设计工艺方法-国家数字标准馆

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电子特气提纯设计工艺方法

发布日期： 2024-08-14

实施日期： 2024-08-14

范围:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。
本文件适用于电子特气提纯设计工艺;
主要技术内容:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。本文件适用于电子特气提纯设计工艺

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：中国国际经济技术合作促进会

起草单位：北京化工大学、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、杭州贝斯特气体有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司

起草人：李群生、李强强、王莉君、赵晓兰、赵洪康、黄英、王乐强、周平、潘佳伟、苏子杰、刘岩、吴永利、汪贤峰、雷晓飞、徐敬铭、包瑾、晨萌

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