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现行 T/CECA 83-2023
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钽酸锂和铌酸锂还原单晶晶片 明度和色差技术要求及测量方法
发布日期: 2023-06-13
实施日期: 2023-06-20
主要技术内容:本文件规定了声表面波器件用钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)还原单晶晶片明度和色差的术语和定义、技术要求和测量方法。本文件适用于声表面波器件用LT和LN单面抛光还原单晶晶片的设计、制造与验收。本文件不适用于声表面波器件用LT和LN双面抛光还原单晶晶片
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