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现行 SJ 21242-2018
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晶圆凸点电镀设备通用规范 General specification for wafer bump electro-plating platform
发布日期: 2018-01-18
实施日期: 2018-05-01
本规范规定了晶圆凸点电镀设备的通用要求、质量保证规定和交货准备
分类信息
发布单位或类别: 中国-行业标准-电子
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