GB/T 39163-2020-靶材与背板结合强度测试方法-国家数字标准馆

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靶材与背板结合强度测试方法 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

发布日期： 2020-11-19

实施日期： 2021-10-01

                本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

ICS分类： 19.060试验 - 机械试验

关联关系

研制信息

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

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