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现行 KS I ISO 14644-16-2021
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클린룸 및 제어된 환경 — 제16부: 클린룸 및 격리 장치에서의 에너지 효율 洁净室和相关受控环境.第16部分:洁净室和分离装置的能源效率
发布日期: 2021-10-27
该标准为在新的和现有的洁净室、洁净区、分离装置上优化能源使用和维持能源效率提供了指南和建议。提供洁净室设计施工、试车(试车)及驾驶指南
이 표준은 신규 및 기존 클린룸, 청정구역, 분리장치에서 에너지 사용을 최적화하고 에너지효율을 유지하기 위한 지침과 권고사항을 제공한다. 클린룸의 설계 시공, 시운전(commissioning) 및 운전에 대한 지침을 제공한다
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