JC/T 2133-2012-半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法-国家数字标准馆

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半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

发布日期： 2012-12-28

实施日期： 2013-06-01

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-建材

CCS分类： G14化工 - 无机化工原料 - 其他无机化工原料

ICS分类： 67.020食品技术 - 食品工艺

关联关系

研制信息

归口单位：全国工业陶瓷标准化技术委员会

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人：陈奕睿、屈海云

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