T/CAQI 368-2023-金刚石制备微波等离子体化学气相沉积设备-国家数字标准馆

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金刚石制备微波等离子体化学气相沉积设备

发布日期： 2023-12-25

实施日期： 2024-01-25

主要技术内容:本文件规定了制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备（以下简称MPCVD设备）的设备原理及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于制备金刚石的微波模式为单模、多模的MPCVD设备

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.040.10分析化学 - 化学实验室、实验室设备

关联关系

研制信息

归口单位：中国质量检验协会

起草单位：铂世光（上海）技术有限公司、上海征世科技股份有限公司、西安电子科技大学芜湖研究院、中国科学技术大学物理学院、武汉工程大学材料科学与工程学院、武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室、山东大学新一代半导体材料研究院、济南金刚石科技有限公司

起草人：胡常青、赵建海、蒋裕胜、满卫东、高春燕、任泽阳、祝巍、付萍、赵洪阳、王希玮、王笃福

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