T/CASAS 025-2023-8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸-国家数字标准馆

现行 T/CASAS 025-2023

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

发布日期： 2023-06-19

实施日期： 2023-06-19

范围:本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。
本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。
注：	碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底;
主要技术内容:本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注：　碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

关联关系

研制信息

归口单位：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草人：崔潆心、杨祥龙、陈秀芳、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、潘国卫、秋琪、徐瑞鹏

相似标准/计划/法规